Hochreines Stickstoffreinigungssystem für Halbleiteranwendungen
Das Stickstoffreinigungsgerät vom Typ Kohlenstoffzugabe und Desoxidation verarbeitet 99,9 % des aus dem Stickstofferzeugungsmechanismus extrahierten Stickstoffs weiter, wodurch 0,1 % des Sauerstoffs im Stickstoff chemisch mit einem Kohlenstoffdesoxidationsmittel reagieren und Kohlendioxid erzeugen. Außerdem werden Kohlendioxid und Wasserdampf aus dem Stickstoff entfernt, wodurch der Stickstoff auf über 99,999 % gereinigt wird. Dadurch wird die Qualität des Produktgases verbessert und es kann an Branchen mit besonderen Anforderungen an die Reinheit und Qualität des Gases angepasst werden.
Geltungsbereich
Geeignet für Benutzer von hochreinem Stickstoff, insbesondere für magnetische Materialien, die Elektronikindustrie und andere Prozesse, die strenge Anforderungen an Sauerstoff und Wasserstoff stellen.
Technische Parameter
| Modell | (Nm³/h) | DN (mm) Einlass/Auslass Durchmesser | (kg) Gewicht von Kohlenstoff Desoxidationsmittel | Kühlung Wasser (t/h) | Angewandte Leistung(kw) | Gerätebereich Größe(mm) | (HBTDC)Gewicht von 13 X molekularen Sieb(kg) | |||
| LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | |||||
| LGBT-130 | HBTDC-130 | ≤30 | DN25 | 130 | 0,2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
| LGBT-200 | HBTDC-200 | ≤60 | DN40 | 200 | 0,5 | 18 | 22,5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
| LGBT-240 | HBTDC-240 | ≤100 | DN40 | 240 | 0,8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
| HBT-380 | HBTDC-380 | ≤150 | DN50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
| HBT-430 | HBTDC-430 | ≤200 | DN50 | 430 | 1,5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
| HBT-670 | HBTDC-670 | ≤250 | DN50 | 670 | 1.9 | 45 | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
| HBT-720 | HBTDC-720 | ≤300 | DN65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
| HBT-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | DN65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
| LGBT-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | DN65 | 1440 | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
| HBT-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | DN65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
| Hinweis: Die obigen Daten basieren auf 0,8 MPa (G) Zuluft, Umgebungstemperatur 20 °C, 0 m Höhe und 80 % relativer Luftfeuchtigkeit als Auslegungsgrundlage. Hinweis 2: Die Leistung wird basierend auf der Durchflussrate berechnet. Die Leistung in der Tabelle wird anhand der Durchflussrate bei einer Reinheit von 39 % bestimmt. | ||||||||||
