stickstoffreiniger für die halbleiterindustrie
  • Hochreines Stickstoffreinigungssystem für Halbleiteranwendungen

    Hochreines Stickstoffreinigungssystem für Halbleiteranwendungen

    Das Stickstoffreinigungsgerät vom Typ Kohlenstoffzugabe und Desoxidation verarbeitet 99,9 % des aus dem Stickstofferzeugungsmechanismus extrahierten Stickstoffs weiter, wodurch 0,1 % des Sauerstoffs im Stickstoff chemisch mit einem Kohlenstoffdesoxidationsmittel reagieren und Kohlendioxid erzeugen. Außerdem werden Kohlendioxid und Wasserdampf aus dem Stickstoff entfernt, wodurch der Stickstoff auf über 99,999 % gereinigt wird. Dadurch wird die Qualität des Produktgases verbessert und es kann an Branchen mit besonderen Anforderungen an die Reinheit und Qualität des Gases angepasst werden.

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