Ultrahochreiner Gasreiniger/Reinigungssystem/Generator
Anwendungsbereiche: elektronische Halbleiter, hochintegrierte Schaltkreise, MAMS, monokristallines Silizium, polykristallines Silizium und Siliziumepitaxie, LED, TFT, Galliumnitrid, Siliziumkarbid, wissenschaftliche Forschung und Entwicklung, experimentelle Analyse usw.
Ultrahochreiner Gasreiniger/Reinigungssystem/Generator
Eigenschaften
● Zwei Türme führen abwechselnd eine Adsorptionsregeneration durch, automatischer Dauerbetrieb. |  |
Tabellenparameter
| Serienmodelle | Für Gas | Rohgasindex | Produktgasindex | |||||||||||
| N2 | H2 | DER2 | Mit | Er | DER2 | H2DER | CO2 | CO | CH4 | H2 | N2 | Granularität | ||
| 9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mM |
| 9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mM |
| 9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mM |
| — | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mM | ||
| 9X | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mM |
| — | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mM | ||
| Hinweis: Allgemeine Durchflussspezifikationen:1-20000Nm3/H;Häufig verwendeter Druck:1-20 MPa | ||||||||||||||
Größe und Tag:
